金刚石mpcvd设备生产企业(金刚石cvd设备)

摘要钻石，一种古老而神奇的水晶材料，自古以来就被用作珠宝，以其闪亮的外观深受人们的喜爱。已广泛应用于精密制造、石油勘探、建材加工、航天航空等国民经济众多领域，在国民经济中占有很大的比重……金刚石，一种古老而神奇的晶体材料，自古以来就被用作首饰。其闪亮的外观深受人们喜爱。它已广泛应用于精密制造、石油勘探、建材加工、航天航空等国民经济众多领域，在国民经济中发挥着举足轻重的作用。钻石也被称为最锋利的牙齿。同时，随着科学技术的进步，单晶金刚石的各种优良材料特性也逐渐被发现。这种古老的材料，近几十年来再次成为学者们的研究热点……

Diamond ——是更高性能的科研工具

金刚石具有优异的物理和化学性能，特别是其半导体电学性能，即宽带隙、高击穿电场、高载流子迁移率和高热导率，使其成为最有前途的固态功率器件半导体材料之一。一、被誉为“终极半导体”！此外，单晶金刚石因其优异的电学性能，在微电子机械系统、声学器件、半导体器件、功率器件、探测器、生物医学、量子计算通信等领域的应用日益受到学术界和工业界的关注。它具有广阔的应用前景，在科技领域的地位和重要性日益提高，是一种性能更高的科研工具！

图1：金刚石特性及应用领域（来源网络，西安交通大学官网）

同时，大尺寸、高品质单晶金刚石的突破是制约其应用的主要瓶颈，也是未来新应用市场布局的必要前提。这也对金刚石生长、加工技术、关键设备提出了新的要求。

就生长技术而言，随着大尺寸人造金刚石材料制备技术的发展，特别是高温高压（HTHP）化学气相沉积（CVD）方法的深入研究，为了获得更大尺寸的高温高压单晶金刚石对设备的要求非常严格，这导致了设备成本的大幅增加。由于CVD法合成金刚石打破了设备对基体尺寸的限制，为大面积单晶金刚石的生长提供了条件，因此CVD法已成为高纯度、大面积的首选解决方案。目前，合成单晶金刚石常用的CVD方法主要有微波等离子体CVD(MPCVD)、热丝CVD、火焰燃烧CVD和直流电弧等离子体CVD。微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）单晶金刚石生长技术一般采用金属作为腔体。由于微波能量无污染、气体原料纯净、不掺入催化剂和杂质等优点，提高了金刚石的品质。它在众多金刚石制备方法中脱颖而出，成为制备大尺寸、高质量单晶金刚石最有前途的技术之一。这也极大拓展了金刚石材料在高科技领域的应用潜力。

图2：CVD金刚石生长过程（来源网络）

微波等离子体法——是最有前途的技术之一

目前，微波等离子体CVD法被认为是沉积金刚石的理想方法。近年来，我国CVD金刚石行业加大资金投入，在MPCVD领域取得长足进展，CVD金刚石产量快速增长。具体来说，从2014年的34.5万克拉到2019年，我国CVD钻石产量已增至95.8万克拉以上，未来仍有增长空间。随着技术的不断进步和市场需求的持续增长，我国CVD金刚石行业的市场规模也在稳步扩大。到2019年，已增长至9750万元以上。与上年7850万元的市场规模相比，增长了近24.2个百分点，市场规模呈现快速增长趋势。

从市场结构来看，近年来，随着我国CVD金刚石行业技术的不断成熟、市场规模的不断增长以及技术的逐步扩散，吸引了众多中小型CVD金刚石生产企业加入市场。浙江、广东、江苏等中小型CVD金刚石生产企业数量最多，达到80多家且仍在增长，市场结构相对分散。

MPCVD关键设备及市场结构

MPCVD装置的核心是微波系统，其中微波谐振腔至关重要。如何在保证谐振腔真空密封的同时实现微波模式的耦合和聚集是器件设计的难点。 MPCVD装置的长期运行是其稳定性的重要指标。 MPCVD设备的总体发展趋势是产生更高洁净度、更高稳定性和更大尺寸的高能等离子体的沉积环境。

目前MPCVD设备类型较多，从最早的石英管式到如今的微波谐振腔式，已逐渐克服了早期功率低、杂质高等诸多缺点。从微波等离子体谐振腔电场产生的模式来看，大致可分为两类：单模谐振腔MPCVD装置和多模谐振腔MPCVD装置。根据腔体形状，大致可分为矩形、椭圆形和圆柱形谐振腔MPCVD器件三类。此外，根据微波频率的不同，金刚石MPCVD系统可分为两类：2.45 GHz和915 MHz。相比之下，915 MHz微波波长更长，可以激发更广泛的高电场，等离子体体积更大，更有利于大尺寸金刚石薄膜的沉积。然而，长波长微波的传输和维持大型等离子体球的运行需要更高的输入能量。限制大等离子体球需要更大的腔室和更强的高能量传输下的硬件能力。这些对于915 MHz MPCVD 至关重要。该装置的结构设计和硬件加工都提出了更高的要求，难度加大。成本和研发难度限制了915 MHz MPCVD装置的研究进展。在实际科学研究中，使用较多的是2.45GHz圆柱形谐振腔MPCVD系统。

图3：MPCVD设备结构及技术原理（来源网络）

在先进MPCVD设备关键技术开发和市场化方面，来自日本、美国、德国等国家的团队处于领先地位。其中，在平板石英窗式MPCVD设备和CAP式MPCVD设备的开发和应用方面，日本Seki公司占据世界领先地位。主导地位并保持技术领先地位。

近年来，我国MPCVD设备研制相关研究团队在新型MPCVD谐振腔研制方面取得了一定成果。但与国外先进团队相比，国内很少有企业或机构突破实现大规模商业化量产的技术难关。因此，微波等离子体谐振腔自主优化设计、大尺寸金刚石制备工艺改进等关键技术的突破，迫切需要国内相关团队持续投入和研究。未来还有很长的路要走，需要探索。

如何快速获得高质量的MPCVD金刚石晶体？

从MPCVD的原理来看：在微波能量的作用下，沉积的气体被激发成等离子体状态。在微波产生的电磁场作用下，腔内电子相互碰撞，产生剧烈振荡，推动腔体谐振。其他原子、基团和分子之间的碰撞有效地增加了反应气体的电离程度并产生更高密度的等离子体。反应过程中，原料气体电离度达到10%以上，使腔体内充满过饱和原子氢和含碳基团，从而有效提高沉积速率，提高金刚石沉积质量。

图4：MPCVD金刚石生长原理图

因此，加速生长的有效手段，通过增加生长时腔室内的气压和输入微波功率，可以促进和强化反应气体的分解和电离，提高各反应基团的浓度和活性，促进生长。提高生长效率。此外，通过改进设备、降低功率损耗，也可以提高金刚石生产效率。在实验中，MPCVD的功率密度是一个非常重要的生长参数。不同功率密度下生长的金刚石的质量和表面形貌不同。设备需要调整到合适的功率密度才能生长出高质量的单晶。钻石。

MPCVD单晶金刚石生长所用的气源主要有氢气(H2)、甲烷(CH2)、氮气(N2)和氧气(O2)，它们裂解成H、O、N原子或CH2、CH3、C2H2、OH在微波等基团的作用下。含碳基团（CH2、CH3、C2H2）会在金刚石表面形成气固混合界面，在动态平衡模型或非动态平衡模型下可以实现金刚石（sp3）、无定形碳或石墨（sp2）的生长。 -平衡热力学模型。氢等离子体蚀刻无定形碳或石墨(sp2) 比蚀刻金刚石(sp3) 快得多。因此，提高原子H和甲基CH3的浓度是提高单晶生长速率最直接的方法之一。

但事实上，这个微观过程是非常复杂的。仅由氢气和甲烷两种原料气体激发的等离子体中，至少有20多个由游离碳原子和氢原子组成的不同基团，它们不断地相互作用。转型。 MPCVD金刚石生长过程包括大量的物理化学反应和传输过程。根据反应的位置和性质，大致可分为两类：等离子体中氢原子和活性炭基团的生成以及碳元素在基材表面的沉积。其中，各个界面还包含热力学变化、物质扩散等物理现象。

图5：金刚石生长机理及模型示意图

此外，添加一定比例的惰性气体掺杂也是提高MPCVD单晶金刚石生长速率的常用方法，如氮气、氩气等。根据武汉大学王建华教授团队的研究工作根据技术，氮的添加并没有显着改变血浆中的基团类型，但随着氮浓度的增加，CN基团的基团强度有明显增加的趋势，而C2基团的基团强度持续增加减少，而单晶金刚石的生长速度继续增加。随着氮添加比例的增加，金刚石生长速率逐渐趋于饱和。氮气并不是通过提高甲烷解离程度产生更多的C2基团来促进单晶金刚石的生长，而是充当催化剂，加速单晶金刚石表面的化学反应。

钻石的生长速度与其生长质量之间存在着矛盾的关系。生长较快的金刚石生长面积仅限于几毫米，且均匀性较差。在生长过程中，氢原子可以蚀刻sp2相并促进烃基在金刚石基底上的沉积。掺入少量的氢有助于提高生长速度并获得更高品质的金刚石。另外，对于半导体、功率器件、探测器等高精度领域的金刚石，对杂质含量和缺陷密度的要求非常严格，特别是对于电子级单晶金刚石的制备。因此，在制备过程中，高纯度的原料气体和高效可靠的真空系统是必要条件之一。

如何快速获得大尺寸单晶金刚石？

除了生长速度和晶体质量之外，大尺寸金刚石的制备一直是困扰国内外科学家的问题。特别是随着5G通信时代的快速发展，金刚石材料在半导体和高频功率器件中的应用日益凸显。金刚石及制品是实施超精密加工、智能电网等重大国家战略，以及智能制造、5G通信等产业群升级的重要物质基础。该技术的突破和产业化对于我国智能制造和大数据产业的自主安全具有重要意义。意义。为此，要求金刚石材料的研究向大尺寸、低缺陷、低电阻率和高导热率方向发展。

与多晶金刚石相比，无晶界限制的单晶金刚石具有更好的光学和电学性能，应用于量子通信/计算辐射探测器、冷阴极场发射显示器、半导体激光器、超级计算机CPU芯片、多维集成电路和军事应用。在大功率雷达微波行波管导热支撑棒等前沿科技领域应用成果突出，制备大尺寸、高质量单晶金刚石是先决条件。

作为金刚石晶片，其尺寸必须在2英寸以上。目前制备大尺寸金刚石和晶片的技术主要有镶嵌拼接、同质外延生长、异质外延生长、三维生长等技术。

拼接金刚石单晶晶片的镶嵌拼接方法的研究始于1995年，作为制备大尺寸单晶金刚石的可行方法。通过拼接生长多个取向相似、质量相同的均匀基底，结合剥离技术，制备出大尺寸单晶金刚石。目前，单晶硅片已达到2英寸。但镶嵌拼接方法对基体均匀性和晶界的存在要求较高，会导致拼接处产生应力和缺陷等问题，影响单晶金刚石拼接件的质量。另外，成本高，需要注入脱皮技术，成品率很低。

同质外延是制备金刚石电子器件的重要技术之一。具有缺陷密度低的特点，最大尺寸可达0.5英寸（1英寸=2.54cm）。然而，在同质外延制备单晶金刚石的过程中，如何将单晶金刚石从基体上剥离是一个非常重要的环节，同时也比较困难。由于基材也是极其坚硬的单晶金刚石，无法用普通的切割方法进行切割。常用的方法包括机械抛光和激光切割。

异质外延也是生长大面积单晶金刚石的有效方法。异质外延是指在Si、蓝宝石、MgO等衬底上利用缓冲层来缓解金刚石与衬底之间的热失配和晶格失配，最终实现单晶金刚石薄膜的生长。最有效的缓冲层是Ir等人。理论上，该方法可以生长出足够大面积的单晶金刚石，以满足其在电子器件领域的产业化需求。其主要缺点是缺陷密度高。

微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）生长技术中氮添加高速生长、脉冲放电高效生长、离子注入剥离等关键技术得到突破后，多向重复三维MPCVD高速外延生长（增长）是在过去10年里取得的。速率100m·h-1)、大尺寸、厚、多晶金刚石边缘的生长以及采用等离子CVD在(H、C、N、O)系统中进行200h无边界连续生长等创新技术。

目前，国内外许多研究机构都在从事MPCVD生长金刚石的研究。国外主要有元素六公司、法国地球物理实验室、日本产业技术研究所等；国内主要有北京科技大学李成明教授团队、武汉理工大学王建华教授团队、哈尔滨工业大学朱家奇教授团队、郑州大学单崇新教授团队、吉林大学邹光田院士团队、西安电子科技大学郝跃院士团队、中科院宁波材料研究所江南研究员团队、中科院半导体研究所金鹏研究员团队、以及西安交通大学团队等众多知名团队的王红星教授。

总的来说，高速、高质量、大尺寸一直是MPCVD单晶金刚石生长领域的热点问题。在考虑高速与高质量的结合时，不同的生长方式之间存在着冲突。这需要优化实验和设备，调整生长参数，探索适合高等离子体密度条件的生长工艺。大尺寸、高品质的单晶金刚石是先决条件。作为晶圆，其尺寸必须大于2英寸。在科学家们的不断努力下，相信金刚石制备技术一定会突飞猛进，解决瓶颈，攻克难题！

探索钻石应用和市场的无限可能

基于此，2021年12月13日至15日，由DT新材料中国超硬材料网联合主办的第六届国际碳材料大会暨产业展览会——金刚石与超精密加工论坛将在上海跨国采购中心举办。会展中心。打开窗帘。本次论坛有两大方向：极限制造与超精密加工论坛和金刚石前沿功能应用论坛。邀请了近30位业内顶尖专家，聚焦半导体相关产业链，从半导体超精密加工技术、衬底技术、高科技功率器件、碳基散热解决方案到切削加工等话题进行讨论-半导体电子器件的边缘应用将探索金刚石应用的无限可能！

同时，本次大会秉承“产学研一体化”的宗旨，设立了5000平米的金刚石产业链专题展区，为原辅材料、相关工具产品、创新产品提供了展示区域。钻石领域的产品和设备，为企业提供更好的信息。交流合作平台。在帮助参赛单位解决实际问题的同时，还共同探索新技术、新突破、新发展，开启金刚石在高端领域应用的新时代。

Carbontech 2021诚邀钻石产业链相关人才和企业参与，共同推动钻石行业快速繁荣发展！

参展风格：MPCVD关键设备及气体

普顿实验室设备（上海）有限公司

负责美国高科技企业50强之一的Pureton实验室气体设备在中国的业务拓展和服务。公司自成立以来，在普尔顿的协助下，成立了销售、市场、售后和物流支持部门，致力于为客户提供及时的服务。我们的氢气、氮气和零级空气发生器可提供200 cc/min - 400 Nm3/hr+的气体容量，可满足各领域的气体需求。同时，我们的服务网点遍布全国，提供7*24小时响应服务。在美国Pureton的支持下，我们还推出了适合中国本土市场的PURETON系列氮气发生器，为您提供安全、便捷、实惠的实验室安全气体解决方案。

成都沃特森电子科技有限公司

成都沃特塞恩电子科技有限公司成立于2015年，是一家专注于固态射频能源应用的国家高新技术企业。 Wattsine自成立以来，不断研发覆盖ISM频段的全系列固态电源产品，以不断迭代升级的高性能产品填补了全球工业固态电源产品市场的空白。经过Watersine和Newman & Ray对HMPS系列MPCVD产品的不断打磨和更新，DiaMiner系列旗舰产品正式推出。 DiaMiner系列提供2英寸、4英寸和8英寸的最大金刚石生产能力，集成了独特的大单晶金刚石生产工艺、全自动化控制技术、高稳定性固态电源、半导体级洁净送风系统和真空系统可实现批量稳定输出，效率高，无人化管理。沃特塞恩团队始终坚持技术创新的发展方向，不懈追求产品研发创新和工艺改进，巩固生产管理能力，严格控制产品质量，努力成为专业、综合的培育钻石生产解决方案提供商。高性能产品和工艺解决方案助力碳材料行业发展，成为值得全球客户信赖的合作伙伴！

上海麦趣能源科技有限公司

上海麦趣能源科技有限公司由多位行业专家共同创立。作为美国派克汉尼汾公司授权经销商，我公司依托派克过滤、仪表、自动化控制、密封、液压等产品群平台，以专业精神为主导，秉承科学严谨的工作态度，细致周到的服务理念，依托派克强大、高品质、多频谱的产品系列，充分考虑每个客户的真实需求以及用户对便捷、安全、节能、可靠、环保、可持续的应用诉求。真诚提供压缩空气后处理，我们为天然气处理、过程过滤、食品饮料、生物医药、生命科学、半导体、环境等领域的客户提供技术和应用咨询服务、一站式解决方案、产品采购和售后服务防护、医疗器械、石油化工等行业。

北京泰克诺科技有限公司

北京泰科诺是一家集真空薄膜新材料沉积设备研发、设计、生产为一体的高新技术企业。公司拥有一支由国内知名专家、教授领衔的技术研发和咨询团队。拥有一流的技术和自主研发创新能力。还拥有开放式工艺实验室，始终保持国内技术领先地位。多年来，北京泰诺除了致力于PVD镀膜技术和设备的研发和制造外，还专注于CVD金刚石生长设备和工艺技术的研发和制造。已获得多项发明专利和技术。其技术国际领先，部分产品填补国内空白。国内属空白，可提供金刚石涂层设备和工艺技术的完整解决方案。 Techno的CVD金刚石生长设备广泛应用于工具金刚石涂层、污水处理BBD金刚石电极、红外窗口材料、动力电池电极等众多高科技领域，深受用户好评。

合肥博雷电气有限公司

合肥博雷电气有限公司成立于2005年，是一家专注于大功率微波设备和特种电源研发和生产的国家高新技术企业。拥有科研面积约5000平方米，员工100余人。公司现已掌握大功率微波发射技术、特种功率变换技术、软件控制技术、大功率脉冲EMC工程设计技术、高压绝缘技术等关键核心技术，形成微波设备等业务板块及特种电源系列，产品种类齐全。应用于微波等离子体、微波医疗垃圾处理、微波加热、干燥、解冻、高能物理、公共安全、科研及工业制造等领域，承担多项国家、省级科研及产业化项目。公司凭借核心技术、质量优势、良好的信誉、完善的企业管理和深入的服务赢得了客户的信赖和好评。

浙江飞跃机电有限公司

VALUE是一家致力于真空设备研发和生产的公司。在108个国家建立了“VALUE”自主品牌销售渠道，为10多家世界500强企业提供服务。凭借在真空领域20多年的经验，我们可以提供全面的产品和最可靠的工业真空技术，以满足各种不同行业的需求。不断提升“速度、创新、高品质”的核心能力，致力于为全球客户提供创新、高品质的真空设备，帮助客户更高效率、更高质量地完成工作，帮助客户成功！

上海华基自动化设备有限公司

上海华追自动化设备有限公司自2011年成立以来一直致力于流量、压力的传感与控制，凭借多年来在各行业积累的技术实力和优良的售后服务，公司建立了在中国新能源（光伏、燃料电池、风能等）、生物医药、半导体、气体分析、石化、冶金、食品、造纸、水处理、工业等领域拥有大量客户窑炉等，尤其擅长提供各种成套设备的技术解决方案。它不仅提供产品，更提供技术支持服务。

成都文正科技有限公司

成都文正科技有限公司成立于2019年，是一家专注于CVD等离子金刚石设备研发、生产、销售以及金刚石材料研发、生产、销售的高新技术企业。公司成立于素有天府之国之称的四川成都郫都。该区电子产业功能区是优质产业空间。在公司产品方面，我们紧跟市场现状和行业技术，积极响应客户全方位需求，提供从初期厂房设计方案，到中期配套辅助设备设计方案，到后期流程协助方案，以及贴心的售后服务。我们以积极的态度不断优化我们的产品，让客户得到最好的服务和最好的投资回报。

成都华宇微波技术有限公司

公司专业从事微波等离子体系统的研发和制造，为用户提供定制化的微波等离子体设备。主要产品包括微波等离子体（ECR）系统、微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统、微波等离子体炬等。公司研发的设备主要应用于材料表面处理与改性、金刚石薄膜及单晶金刚石制备等新材料、微电子等领域。

上海博视光半导体科技有限公司

上海博实光半导体科技有限公司是一家专业生产MPCVD设备的高新技术企业。位于上海市青浦区高新技术成果转化基地。公司交通条件便利，拥有一流的实验室和洁净生产车间，拥有国际一流的生产和检测设备。公司由全球行业顶尖技术人才领导。成功研发生产出国际领先的MPCVD人造金刚石设备并大批量交付客户。公司产品性能已超越国际同行，具有较强的市场竞争力。公司专注于微波等离子体设备的研发和生产，不断强化和拓展MPCVD产品系列，成为国际领先的MPCVD设备供应商。同时拓展了半导体设备生产领域，特别是微波等离子体领域。公司拥有深厚的技术积累。立志成为全球行业技术领先者。

科电工程有限公司（科电）

科电工程有限公司（“科电”）于1980年在香港成立，是业务网络遍布全球的康世集团成员之一。它也是亚洲和大中华区工业材料和设备、电子测量系统和设备以及表面安装的主要供应商。作为组装生产设备供应商之一，我们提供广泛应用于电子制造业的生产设备、电子测量系统及设备、工业材料及设备，包括高精度表面贴装生产系统等。设备部门专注于提供微波等离子体化学气相沉积。该设备应用于金刚石及碳材料研发生产等相关行业。

北京杰内达机电设备有限公司

北京根农达微波机电设备有限公司是德国muegge在中国的售前、售后服务提供商。服务中国用户15年，已提供数千台2KW、3KW、6kW、10KW、15KW、75KW微波发生器。我们持续为客户提供高品质的产品和服务。

上海历城五金机电店

上海力成五金机电店成立于1997年，致力于为客户提供一站式解决方案。是一家集品牌推广、产品技术服务、设备集成于一体的专业公司。我们的产品有30,000多个品种。广泛应用于氢能、石油化工、汽车、航空等行业。我们始终坚持一个不变的信念：品质、服务、专业、创新！这也将是我们对客户一贯的承诺。

成都欧拉微波元件有限公司

欧拉微波成立于2004年，17年来一直专注于无源微波波导产品的设计、研发、生产和销售。总部位于成都市金堂县怀州新城，拥有5000平方米的科研生产基地。

— 产品广泛应用于雷达与电子对抗、卫星通信、广播电视通信、工业微波、测试测量等无线电微波领域，得到了客户的高度认可和广泛赞誉。

上海唐亚过滤设备有限公司

上海唐亚是派克汉尼汾在中国的授权经销商，也是派克过滤集团在亚太地区最大的经销商。在中高端工业流体控制领域，尤其是过滤、管阀件应用点，我们依托派克优质的产品品质和丰富的产品线，为用户提供专业有效的解决方案，帮助用户提高产品质量和市场竞争力是我们的目标。上海唐亚面向CVD行业的产品包括氢气发生器、甲烷纯化器、辅助设备和管道控制组件。更可贵的是我们拥有优秀的整体设计能力并提供一站式服务。这项服务得到了众多客户的高度认可，业绩已遍布全国。

宜昌中碳未来科技有限公司

宜昌中碳未来科技有限公司致力于超宽带隙半导体材料生长设备的自主研发。可自主生产2.45GHz、915MHz微波等离子体化学气相沉积金刚石生长设备，可满足半导体器件、精密加工、散热等应用领域的材料生产需求。

成都麦品慧能科技有限公司

成都麦品慧能科技有限公司成立于2019年7月，是一家专业从事微波能源系列产品研发与生产、微波/射频元件研发、数字电路研发、无源元件设计、结构件加工。公司目前正在申请发明专利5项，已授权实用新型专利7项。公司核心研发人员拥有电子、通信领域博士、硕士学位。研发团队成员均从事该领域技术工作多年，具有深厚的专业知识、丰富的经验和优秀的素质。基于对客户需求的充分理解，公司愿意为国内外各行业客户提供高标准的研发服务和多种场景的解决方案。

参考：

1.《CVD金刚石热沉封装高功率半导体激光器的热特性》 DOI:10.16136/jj.oel.2019.03.0308

3.Carb，西安电子科技大学张金峰教授

ontech2020报告 ? ? ? ?4、《金刚石散热衬底在GaN基功率器件中的应用进展》DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.11.013 ? ? ? ?5、《金刚石封装半导体激光器特性研究》DOI:10.16589/j.cnki.cn11-3571/tn.2020.23.029 ? ? ? ?6、《超宽禁带半导体金刚石功率电子学研究的新进展》DOI:10.13290/j.cnki.bdtjs.2021.02.001 ? ? ? ?7、《MPCVD法合成单晶金刚石的研究及应用进展》DOI:10.3969/j.issn.1006-7086.2015.03.0027、 ? ? ? ?8、《MPCVD法中氮气对单晶金刚石生长机理影响的探究》DOI:10.13922/j.cnki.cjovst.2018.08.07 ? ? ? ?10、《MPCVD 单晶金刚石生长及其电子器件研究进展》DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2020.11.006